二手 ULVAC Entron EX W300 #9282019 待售

ULVAC Entron EX W300是一種強大的物理氣相沈積（PVD）濺射設備,用於將薄膜材料沈積到基板上。它主要用於從工業塗料到微電子的應用。它能夠將多種材料中的高純度金屬或氧化物薄膜沈積到具有出色均勻性和薄膜完整性的小區域，因此非常適合這些應用。ULVAC ENTRON-EX W300具有多種功能,使其操作簡單高效。系統具有廣泛的濺射源配置,範圍從單個源到四源串聯配置,具體取決於應用程序。此外，DC、RF和脈沖DC濺射的不同組合也可用於優化膜質量。最多四源串聯配置也意味著可以在同一過程中沈積多種材料，這增加了單元的多功能性。ENTRON EX W 300具有廣泛的工藝監控功能，如基板溫度檢測（STD）功能和激光密度測量（LDM）功能。STD特性利用掃描紅外熱成像機在濺射過程中檢測基板表面溫度，LDM特性使用激光束測量沈積膜的光學密度。這些特性對於監測沈積過程和保證高質量的薄膜塗層具有重要意義。ULVAC ENTRON EX W300具有高效的冷卻工具,可實現多達100個基板的批處理過程。冷卻設備的設計可以有效控制溫度和均勻沈積薄膜。整個型號由單一、用戶友好的觸摸屏界面控制,可確保易於使用。ENTRON EX W300以其高均勻性、優良的薄膜質量、高效的操作，非常適合汽車、能源、醫療等行業的應用。該設備的多功能性和單批加工多達100種基材的能力使其成為工業塗層和其他薄膜應用的理想選擇。