二手 ULVAC Entron EX W300 #9282020 待售

ULVAC Entron EX W300是一種用於薄膜高級沈積的濺射設備。該系統利用各種高效可靠的濺射塗層技術，制造出高性能的磁性、光學、透明和導電薄膜。采用多弧濺射技術和若幹附加塗層選項，如動態雙極脈沖功率和無功濺射，該單元允許精確復雜的薄膜結構。該機由一個主單元和一個全自動控制模塊、一個獨立的同軸裝載機/儲物櫃單元組成，該單元提供靈活的基板形狀和尺寸，一個陰極射頻單元和一個創新的磁控管單元。該工具為濺射高質量的超薄膜提供了卓越的性能。為了獲得最大的薄膜性能，ULVAC ENTRON-EX W300可以提供各種濺射過程，如經典惰性濺射、反應性濺射、陰極環濺射和弧錐濺射以及雙三頭目標。這些工藝可用於制造復合薄膜、硬質塗層和多層薄膜。此外，它們還能提高沈積速率，改善濺射均勻性。ENTRON EX W 300資產除了具有濺射能力外，還允許方便靈活的基板處理。用戶可以輕松處理各種尺寸和形狀的基板，從晶圓到矩形片。基板級具有電容端點檢測，可確保整個表面的沈積均勻性得到優化。該模型還配備了用於可靠數據收集的數據記錄器，使用戶能夠輕松檢查收集的數據。該設備還能夠獲取用於RGA分析和優化過程參數的過程數據。此外，該系統能夠進行溫度控制處理，因為它可以配備溫度控制的基板支架。ENTRON EX W300是一種先進的濺射裝置,可提供高性能、優化的沈積均勻性以及多種工藝選項。它適用於許多應用，從制造光學塗層和薄膜到制造精密元件。