二手 ULVAC Entron EX W300 #9353969 待售

製造商
ULVAC
模型
Entron EX W300
ID: 9353969
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Sputtering system, 12" Load module: Load port Robot arm Transfer module: (2) Robot arms Process module: (8) Chambers Utility: AC Rack Pump rack DC Power supply rack Heater rack 2007 vintage.
ULVAC Entron EX W300濺射設備是一種先進的物理氣相沈積(PVD)系統,專門針對金屬、合金、電介質和其他材料沈積到基板上進行了優化。該裝置非常適合用於從太陽能電池到光電元件的各種應用的薄膜。ULVAC ENTRON-EX W300的機器配置包括一個具有兩個獨立真空室和一個負載鎖定機構的基礎單元。這允許同時處理多達兩個基板尺寸。直接驅動電動機驅動器能夠提供各種材料和表面表面的精確和可重復的沈積,並具有一貫可重復的結果。ENTRON EX W 300配備了ULVAC現場驗證的「PowerWave」濺射工具。這允許在單個沈積循環中選擇性沈積具有獨立功率設置的兩種不同材料。該資產還在每個真空室中配備了四個陰極,允許同時濺射多達四種材料。ENTRON-EX W300還配備了廣泛的樣品支架和夾具,用於容納不同類型的樣品和基板。這樣就可以在沈積過程中對基板進行精確和可重復的定位。這樣可以確保薄膜在整個表面的均勻覆蓋。Entron EX W300還配備了先進的控制系統,包括集成的過程控制面板和最新的PLC觸摸屏控制器。這允許用戶友好、自動地控制整個濺射過程。此外,該模型還可以連接到各種其他系統,用於數據記錄和操作員指導。總體而言,ENTRON EX W300非常適合使用多種材料創建精確、高質量的薄膜。它的自動化控制、精確沈積和先進的夾具設備允許在一個沈積周期內對各種不同的材料進行均勻的覆蓋率和可重復的濺射。ULVAC ENTRON EX W 300是一種可靠、經濟高效、高性能的濺射系統,非常適合各種薄膜應用。
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