二手 ULVAC Entron EX W300 #9381852 待售

ULVAC Entron EX W300是一種濺射設備，用於通過物理氣相沈積生產薄膜。ULVAC ENTRON-EX W300是一種緊湊的臺式濺射系統,能夠沈積用於介電、金屬和電阻層結構的多種材料,設計用於半導體和薄膜沈積應用。濺射單元可以濺射目標材料，包括但不限於鋁、金、全新、鉑、氧化鋁、二氧化矽。ENTRON EX W 300旨在輕松集成到手動或自動化生產線中，具有小占地面積和低重心。而且，它的光學清晰的石英視圖端口提供了目標材料和基板的清晰視圖，而無需移動門。它采用了獨特的無磁性單軸直流濺射專利，以盡量減少維護和氣體消耗，以及獲得專利的速變濺射插件，以允許目標材料的快速切換。該機的真空室設有低壓圖和前置負載磁濾器，以降低灰塵水平。由於獲得了專利的安全快門和各種自動關閉資產控制選項,該工具能夠產生厚度和組成均勻的層。自動關閉模型允許在沈積各種厚度的層時使用用戶定義的目標功率、目標位置和冷卻時間。ULVAC ENTRON EX W300采用最新的PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）技術,提供高密度的針點沈積。最後,Entron EX W300提供最新的軟件監控和診斷監控,以確保平穩運行,並提供最高質量的薄膜沈積。