二手 ULVAC Entron EX W300T #293815144 待售

ULVAC Entron EX W300T是一種功能強大且高效的濺射系統,旨在實現矽片加工的最佳性能。它是一種用於薄膜濺射沈積的單片單面加工設備。系統具有300毫米晶圓級，底物持有者溫度範圍較低，為-70至400攝氏度。它具有水平沈積室設計，具有六目標設計，最多可容納五個目標，以及晶圓基座或夾具。其目標安裝在水平旋轉構型中，以允許薄膜均勻沈積。它具有可編程的高性能射頻電源,最大功率可達2000W,方便、準確地對晶片進行濺射剝離。它配有高分辨率刀片刮刀和墊片密封裝置，具有可靠的蝕刻和薄膜質量。它擁有與工藝控制軟件集成的氣壓控制機，以獲得更好的薄膜特性。該工具具有較高的真空過濾資產，可用於自動沈積過程。它配備了定制的上下部靜電卡盤，便於處理的超薄晶片。它具有先進的晶圓測量模型，使用戶能夠測量沈積膜的厚度和均勻性。Entron EX W300T設計方便維護,並提供長期可靠性。它還具有可選的負載鎖定設備,可以快速、方便地訪問示例加載和卸載。總體而言，ULVAC Entron EX W300T是矽片的絕佳濺射系統。它提供了快速高效的薄膜沈積處理,具有可編程射頻電源、高分辨率刀片刮刀和氣體控制等獨特功能,以及用於薄膜精確控制和均勻沈積的自動沈積控制和測量系統。