二手 ULVAC Entron EX #9195690 待售

ULVAC Entron EX是為各種先進材料薄膜的應用而設計的濺射設備。具有高重復性的高速、高精度、高質量濺射沈積。ULVAC ENTRON-EX系統由交流濺射源和直流濺射源兩個組件組成。交流濺射源用於金屬和無機化合物的沈積，以及一些氧化物薄膜。直流濺射源用於各種金屬、合金和IC電阻膜的沈積。該單元采用了一種多合一的平面磁控管濺射配置，允許同時使用兩個濺射源。這種濺射配置允許由於雙方向磁控管濺射而產生的高速率濺射。磁鐵產生的磁場和機器的設置導致目標表面上的沈積速率很高。該工具還配備了自動補償器，可根據目標面積大小調整電源電壓。此功能有助於防止目標表面汙染,並通過自動調整電源電壓來減少廢料,從而提高資產的生產率。此外，該模型可根據目標材料設置為具有不同的電源電壓，這對沈積不同的薄膜很有幫助。此設備提供了多種功能,可在操作平臺時增加用戶體驗。它具有高度自動化和實時顯示真空條件、系統狀態等重要信息。它還提供了多種操作模式，根據當前的要求允許高度的靈活性。此外，它還有一個惰性氣體供應裝置，在必要時能夠有效地控制濺射過程。總體而言，Entron EX是一種創新的濺射裝置，為各種應用提供高效可靠的薄膜沈積。高精度、高質量的濺射沈積，以及新增的特性，使得ENTRON-EX成為沈積薄膜的理想平臺。