二手 ULVAC Entron EX #9226068 待售

ULVAC Entron EX是一種用於半導體生產的高精度濺射設備。它采用雙磁控管濺射系統，在基板上的沈積材料中產生高均勻性。這使得它非常適合在芯片上生產高質量的設備。ULVAC ENTRON-EX有一個由不銹鋼構成的真空室，能夠產生10-5 torr或更高的真空。它帶有一個自動化的過程控制器，可以對沈積過程進行精確的監測和控制。內部溫度控制單元在沈積過程中使腔室保持穩定溫度。EntronEX所用的磁控管濺射機能夠在高沈積速率下產生高質量、均勻、具有優異附著力和耐腐蝕性的獨特材料沈積物。磁控管濺射工具還允許對被沈積的材料進行精確控制，從而可以更好地控制薄膜的厚度和均勻性。該資產帶有集成的源處理模型，可輕松快速地進行源更改，而無需打開真空室。這樣可最大程度地減少生產過程中的停機時間。ENTRON-EX還配備了幾個安全系統，如緊急停止按鈕和可以幫助避免錯誤操作的自動重新啟動設備。ULVAC Entron EX是為各種應用生產高質量半導體器件的絕佳選擇。憑借其精確的控制和高度統一的礦床剖面，可以提供最高的產量和質量控制。它還具有成本效益,並且易於配置和維護。