二手 ULVAC Entron N300 #9314074 待售

ULVAC Entron N300濺射設備是一種工業級設備，設計用於通過濺射過程將薄膜沈積到基板上。該系統采用高性能真空裝置，提供高溫烘烤和低於10-7 Pa的極限壓力等功能，以及環保的渦輪分子真空泵。這使機器能夠提供高達300 nm/min的濺射沈積速率。該工具還配備了模塊化陰極源，提供多功能濺射目標。其無Cathod-less磁控管濺射源設計用於均勻目標侵蝕和塗層均勻性。特殊塗層工藝如單波或雙波雙向濺射也可以用這種資產進行。為了監測沈積過程，該模型集成了快速響應幾何調整的濺射功率監測器。其真空設備監測器可對系統壓力和組成進行精確分析。Entron N300的腔室由不銹鋼外殼和扁平石英窗組成。它旨在提供良好的氣體屏蔽環境，以確保無汙染沈積。該室還與彈藥筒式排氣裝置和自動壓力控制裝置相結合，為沈積提供了清潔、高純度的工藝環境。而且，該機配備了控制PC、進程數據存儲器和圖形用戶界面，提供了卓越的自動化最終用戶可編程性。這使得ULVAC Entron N 300成為各種應用的理想沈積工具，從顯示面板的薄膜沈積到汽車零件塗層。