二手 ULVAC Entron W-40078 #9109099 待售

ULVAC Entron W-40078濺射設備是一種先進的物理氣相沈積（PVD）工具,用於金屬和合金導電層和絕緣層的沈積。該工具采用了陶瓷crucible和幹泵，以產生高純度的環境。Entron W-40078是各種研究和制造應用的理想工具，如生產平板顯示器、柔性電子和傳感器。ULVAC Entron W-40078是一種半自動機，設計有易於使用的操作員界面。該系統可與多個濺射源配合使用，包括直流源、射頻源和熱絲源。直流光源最多可產生4kV個,射頻光源最多可產生500W個,熱絲光源最多可產生400V個。該單元包括四個獨立的工藝室，允許使用者一次最多存放四種不同的目標材料。每個工藝室都配有自己的濺射源、獨立的工藝氣體、壓力、溫度和腔室壓力監測器。這允許機器的高精度操作。例如，壓力和溫度可以分別控制每個腔室。操作員界面為每個腔室設置沈積參數提供了一種簡單的方法。該工具具有多級擴散器，可促進晶片之間的均勻沈積。它還具有自動加載機制，允許在沈積過程中精確操縱晶片。Entron W-40078包括多個安全功能,包括緊急停止按鈕、安全快門和安全監視器,用於監視資產的電氣異常。這些功能確保模型安全高效地運行。總之，ULVAC Entron W-40078是研究和制造應用的理想物理氣相沈積工具。它非常方便用戶，可以在晶片上產生精確的金屬和合金沈積。該設備還具有先進的安全功能，以確保系統安全高效。