二手 ULVAC Entron #9041421 待售
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ID: 9041421
Physical vapor deposition system, 12"
SMIF: no
Wafer type: notch
Software OS: UNIX
2004 vintage.
ULVAC Entron是由日本專門從事真空處理設備的公司ULVAC(Ultra Low Vacuum)生產的濺射設備。它是一種先進的高通量生產工具,能夠精確地塗覆各種基板。它是一種基於輝光放電陰極電弧等離子體技術的多功能沈積系統,具有多種濺射源,包括合金、氧化物和碳化物,用於射頻和直流應用。Entron單元設計為同時營造正確的大氣,同時也獨立控制每個濺射源的運行狀況。ULVAC Entron具有在射頻和直流濺射功能、多源控制和自動化操作之間切換的能力,是一種非常高效的濺射工具。該機器還允許通過單一源調度來裝載和卸載基板,從而確保過程的均勻性和可重復性。Entron提供了許多優勢,包括提高生產效率和降低運行成本。其高吞吐量、處理多種材料的能力,以及對塗層表面的精確控制,可提供卓越的性能和一致性。ULVAC Entron在不同應用中操縱大氣的能力導致了高產和經濟高效的濺射。此外,該工具還能夠為各種應用創建薄至10納米(10nm)的薄膜。恩特龍還配備了ULVAC先進的監控技術,允許對濺射過程進行全面控制。這包括對基板、膜厚度、均勻性和其他參數的實時監控。此外,該資產還采用了用戶友好的界面和功能強大的軟件,使用戶能夠輕松設置和操作。這種功能的組合使得ULVAC Entron成為各種濺射應用程序的理想生產工具。總之,Entron是一個功能強大的工具,適用於需要精確、可靠和高效濺射系統的用戶。其先進的功能和特性使其成為工業沈積應用的寶貴資產,並為用戶提供可靠、高吞吐量的生產工具。
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