二手 ULVAC Entron #9150538 待售
網址複製成功!
ID: 9150538
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Physical vapor deposition system, 12"
Process: Metal
2004 vintage.
ULVAC Entron是為薄膜材料沈積而設計的先進濺射設備。該系統利用直流電、脈沖直流和定向濺射,在一個單元中提供多種沈積過程。它還設計用於精確控制溫度、壓力和氣流,以確保最佳的膜沈積。Entron具有緊湊的設計,與其他更大的濺射系統相比,它具有明顯的優勢。其占地面積小,功率能力大,適用於研究和實驗室應用以及工業生產。該機器最多可配置四個電源,每個電源可提供各種電源級別。此外,所有源都可以獨立操作或組合操作,以提供精確的控制,從而實現精確的沈積。提供均勻而密集的薄膜。為確保最佳薄膜質量,ULVAC Entron可以配備多種選項,包括惰性氣體供應、冷凍泵和溫度控制。該工具還與多個氣體和潛水泵兼容,以便能夠使用反應性氣體。Entron資產還提供了最高程度的過程穩定性和最低數量的氣體泄漏點。這確保了最小的汙染和長期可重復的濺射沈積過程。而且,與其他濺射系統相比,該模型功耗低。ULVAC Entron是一款適合多種應用的多功能設備。應用實例包括電介質、金屬、陶瓷甚至透明導電材料的沈積。薄膜沈積具有很高的重復性和準確性.考慮到所有這些優點,Entron對於需要可靠和可重復結果的小型和大型濺射沈積項目都是一個不錯的選擇。
還沒有評論