二手 ULVAC Entron #9235259 待售

ULVAC Entron
製造商
ULVAC
模型
Entron
ID: 9235259
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Physical vapor deposition systems, 12" Process: Metal 2010 vintage.
ULVAC Entron是一種最先進的濺射設備,用於在各種工業應用中沈積材料薄膜。該系統利用一個能夠達到1x10-3 Pa的基本壓力的高端真空室,允許有一個適合這種精確沈積的受控環境。腔室本身相當寬敞,允許在內部放置各種細膩錯綜復雜的基板組件,非常適合在許多不同類型的表面均勻沈積。Entron單元利用了四個磁控管濺射槍,並且能夠承受各種各樣的操作壓力,這取決於所需的薄膜參數。這些槍具有廣泛的目標材料能力,可以是鈦、鋁、鉻、不銹鋼和其他金屬。每把槍都可以獨立於其他槍的操作,也可以同步進行同時濺射。這增加了已經相當可觀的控制機器,並使得一個真正通用的沈積選項。ULVAC Entron工具還配備了大量量規和傳感器,可實時測量排氣、壓力和其他參數。這些傳感器為操作員提供了大量數據,使他們能夠在整個沈積過程中進行精確的調整,從而更好地控制所產生的薄膜。Entron是一個令人難以置信的有效和精確的濺射資產選項,對於那些尋求更多的控制薄膜沈積。它允許更大的控制基板裝配位置,膜參數,並運行一個非常可觀的基礎壓力。它的四門磁控管槍可以獨立或串聯工作,允許比市面上許多其他系統更大的通用性,使其成為廣泛工業應用的邏輯選擇。
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