二手 ULVAC Entron #9255982 待售

ULVAC Entron是ULVAC制造的濺射設備，ULVAC是半導體生產設備設計、制造和分銷的全球領先者。中心濺射系統非常適合將材料薄膜沈積到基板上，以便形成半導體器件制造中使用的薄層。該單元利用物理氣相沈積（PVD）技術，其中涉及使用等離子體在真空中使材料汽化，然後使其在基板上凝結。這就產生了原子穩定、均勻的薄膜，具有特殊的性能。ULVAC Entron濺射機由幾個組件組成，所有這些組件設計為協同工作，以達到最高的效率和性能水平。該工具的主要部件是濺射室，設計用於疏散大氣，為沈積過程創造真空。此外，該腔室還包括一個載荷鎖，有助於維持低壓環境，並用於從腔室引入和移除基板。資產還具有基板保持卡盤，負責在濺射過程中保持基板的取向。恩特龍模型使用雙磁控管濺射源，其中包括兩組在濺射室內產生強烈磁場的磁性線圈。這些磁場創造了一個等離子體環境，有助於材料的汽化。雙源還允許用戶控制濺射速率和材料在基板上的沈積速率。此外，該設備還利用一個入口來引入將用於濺射的材料。最後，ULVAC Entron系統包括一個控制單元，負責控制單元內的組件，在濺射過程中保持安全的環境。這包括壓力感應、溫度控制和控制沈積速率的慢閥等特性。此外,此單元允許用戶調整濺射過程的設置,從而實現對沈積的精度和控制。總而言之，Entron濺射機是一種先進的制造工具，設計用於在基板上生產高質量的材料薄膜。它的組件為用戶提供了精確的控制,並能夠實現具有卓越性能的難以置信的均勻層。ULVAC Entron濺射工具非常適合廣泛的應用，可用於生產各種半導體器件。