二手 ULVAC IBS-6000 #9053705 待售

ULVAC IBS-6000是一種用於薄膜沈積的精密濺射設備。該系統利用射頻（RF）或直流電（DC）電源產生具有高能粒子的電離氣體。在濺射過程中，這種氣體被引導到沈積室內的目標材料上。當氣體中的離子轟擊目標材料時，材料被切成薄膜並沈積在基板上。IBS-6000設計緊湊,占用空間小,操作性能高。該單元使用易於配置的高純度、低壓工藝室，允許處理不同大小和形狀的樣品。先進的數據測量機快速記錄基板溫度、壓力和離子電流，以確保精確的沈積過程。ULVAC IBS-6000旨在提供精確的濺射技術。它有一個自動化的過程設置，易於使用的軟件和一個新開發的快門機制，以確保一個一致的薄膜厚度。該工具還具有促進高效膜沈積的大功率離子源和直流電模式。該資產還具有用於均勻濺射沈積的重力屏蔽磁控管機構和專門開發的用於精確濺射速率控制的驅動單元。此外,IBS-6000還配備了先進的原位膜厚度監視器,以確保膜厚度精度。該監測模型包括一種連續膜厚度測量技術，可用於實時檢測濺射膜厚度的變化。ULVAC IBS-6000是一種多功能、高性能的濺射設備,設計用於生產厚度均勻一致的薄膜。它結合了精確的應用和復雜的系統，使其成為各種沈積項目的一個有吸引力的選擇。