二手 ULVAC IBS-6000 #9237376 待售

ULVAC IBS-6000是一種尖端濺射設備，能夠提供可靠和均勻的金屬、氧化物材料和碳納米管薄膜塗層。它采用高容量直流電（DC）源，提供充滿活力的電離，從而提高塗層均勻性和沈積效率。該系統的高功耗/高吞吐量結構使塗層時間短,過程窗口寬,這意味著更少的重復運行和更大的成本節約。IBS-6000具有完全機動化的遠程控制功能,可實現遠距離過程控制,這是自動化研究應用程序的便捷功能。友好的圖形用戶界面為用戶提供了易於導航的設置菜單，以快速選擇和優化流程參數。該單元的可自定義配方和序列功能使用戶能夠根據自己的精確需求對濺射和其他過程進行精確的定制。ULVAC IBS-6000使用ULVAC專利的混合-旋轉濺射技術。該技術為傳統的單軸旋轉濺射工藝提供了經濟的解決方案。它消除了使用單軸旋轉器的需要,從而節省了與多個單軸濺射裝置相關的能源和成本。此外，Hybrid-Rotary Sputtering可以精確生成濺射的目標圖樣和形狀。大氣產品溫度保持在遠低於350°C的水平，以便進行高效的低溫處理。此外，機器的剛性框架設計和低重心提供了卓越的穩定性和隔振。綜合起來,這些特性提供了IBS-6000卓越的可加工性.ULVAC IBS-6000非常適合許多需要精確原子層沈積和薄膜沈積的工業和研究應用。它是一種特別有效的濺射工具，用於需要微電子器件和傳感器的陣列和精確的生長控制。此外,IBS-6000具有內置的安全相關功能,包括針對異常情況的警報和緊急停止邏輯,使其成為廣泛應用的理想選擇。