二手 ULVAC KS-300-1.5 #9110225 待售

ULVAC KS-300-1.5濺射設備是一種高性能等離子體增強沈積系統，利用高能電子產生均勻、高度均勻、光滑的薄膜塗層。該裝置具有單端濺射源和用於產生等離子體的真空室。此外，該機還配備了多種用於半導體、金屬等材料加工的配件。該工具的核心由一個200毫米的真空室和一個集成的控制器和數字顯示器組成。它能夠達到高達10-3 Torr的壓力，底壓為10-6 Torr。濺射源為粉末塗層鋁，安裝在真空室頂部，與電源相連。濺射源利用兩槍陰極構型，產生均勻且高度均勻的塗層。為了方便起見，該資產包括一個可編程的目標對齊模型，以確保目標的準確放置。此外,設備還包括目標支架,以確保目標與基板之間的最大接觸。該系統配有各種配件，用於各種材料的加工。其中包括用於制造高密度等離子體的磁控陰極、用於控制基板溫度的基板加熱器、用於控制基板以及用於控制離子轟擊能量的快門執行器，以及用於均勻塗層沈積的掃描速度調節器。此外,該設備還包括溫度控制器、熱傳感器、屏蔽外殼和攝像頭設備,用於精確和精確的過程控制。ULVAC KS-300-1.5是一種多功能、高性能的機器，能夠在各種不同的基板上進行高度均勻的塗層。它能夠實現小粒度、高質量的薄膜，具有優良的工藝重復性和均勻性。它是半導體工業中沈積應用的絕佳選擇。