二手 ULVAC MCH-4500 #9226118 待售

ULVAC MCH-4500
製造商
ULVAC
模型
MCH-4500
ID: 9226118
晶圓大小: 6"
Sputtering systems, 6".
ULVAC MCH-4500是一種先進的用於薄膜沈積的濺射設備。它可以在尺寸不超過4英寸的基板上沈積超薄膜。該系統采用高頻磁控管濺射產生附著性能高的均勻薄膜。MCH-4500適用於各種研究和商業應用,包括半導體、薄膜電光、多層反射鏡和耐磨塗層。ULVAC MCH-4500具有廣泛的功能,可最大程度地提高濺射膜的沈積速率和均勻性。該機組的高頻磁控管電源可產生高達5kW的功率,從而實現高沈積速率和薄膜均勻性。此外,該機器采用高速率濺射沈積,允許金屬和氧化物目標材料同時或單獨濺射,從而產生反射鏡層、電極或飽和吸收器。該工具配有各種組件,可確保準確和可重復的操作。這包括一個4合晶片提升單元和一個自動膜厚度測量資產,它允許精確的基板處理和監測薄膜沈積。MCH-4500還具有兩步質量流控制器、兩個獨立的溫度控制單元、一臺多功能PC、一臺基於客戶端/服務器的軟件控制模型和一臺24-7監控設備。此設置旨在提供可靠和自動化的薄膜沈積體驗。此外,系統還配備了許多安全功能,以確保用戶安全。其中包括安全攝像機單元和自動安全快門裝置,保護操作員免受危險激光輻射。安全快門裝置還能防止薄膜氧化,同時防止顆粒進入並汙染沈積室。ULVAC MCH-4500是一種高度可靠、安全和自動化的濺射機器,適用於各種應用的可靠薄膜的沈積。它結合了先進的元件和特性,可以為廣泛的應用提供精確和均勻的薄膜沈積。該工具是研究人員和工程師尋求可靠和高效濺射資產的理想選擇。
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