二手 ULVAC MCH 9000 #293819047 待售

ULVAC MCH-9000濺射設備是薄膜沈積的先進工具.它包含了幾個高級功能,以獲得卓越的效果。它是一個同時利用磁控管和電子束的濺射過程的雙束系統，在沈積過程中提供了極好的靈活性。該單元具有用於精確濺射沈積控制的固態控制器，以及針對不同的薄膜目標定制等離子體混合的能力。它還利用多目標特征，允許多層薄膜同時沈積。該機由一個中央主腔室（容納雙束濺射陰極）和幾個衛星腔室組成，可以容納額外的目標。每個衛星腔室位於不同的角度，允許更廣泛的加工腔室。機動轉移臂允許基板在主室和衛星室之間以及濺射目標之間自由移動。這使操作員能夠在主操作室和衛星之間快速移動，從而顯著提高了沈積過程的效率。由於該工具具有自動腔室傳輸模型和真空互鎖功能，因此可以很容易地集成到真空資產中。濺射源被手動插入主腔內，可以以260度弧轉動，以便進入目標的整個表面。源是相互獨立的，允許最大程度的靈活性的過程。電子束源設計用於反應性濺射，而磁控管陰極則針對物理氣相沈積（PVD）工藝進行了優化。最多可在任何一個時間安裝四個陰極，設備可以很容易的擴展與額外的目標。人性化控制器融合了PID反饋控制、磁控管功率控制、自動目標補償、多種預設操作配方等幾項先進功能。機動化的轉移臂也是遙控的，使得基板容易裝卸。MCH-9000濺射系統在薄膜沈積方面具有很強的通用性和優異的性能。它是一個可靠的單元，使操作員能夠在不同目標之間輕松快速地移動，同時保持出色的過程控制。它是一臺設計精良、功能強大的機器,可最大限度地提高生產效率和準確性。