二手 ULVAC MCH-9000 #9269413 待售

ULVAC MCH-9000是一種高端濺射設備，設計用於生產薄膜塗層、納米材料和其他超薄膜。該系統由一個主源室組成，在該主源室中濺射一個塗有漿液的金屬靶，以及一個輔助室，在反應進行過程中支撐反應。為了開始濺射過程，將一種惰性氣體，例如氙送入主腔室，並對目標材料施加射頻交流電（RF-AC）。這導致目標材料的單分子表面分裂成自由離子，進而變成「濺射」離子，然後被推向基板表面，形成塗層。基板可以是多種材料，從玻璃到金屬，這些塗層可以用於半導體和光學工業的廣泛應用。MCH-9000是高度通用的，結合了各種控制和功能，以確保精確的結果。其集成的先進數字控制器允許精確調整濺射速度、濺射壓力和氣流等參數。此外，該機組還配備了一臺設計用於減小氙氣損耗的先進氣體循環機，以及用於調節工作環境的真空壓力監控器和控制工具。該資產還配備了用於診斷和過程控制目的的集成監視器和記錄器。這允許操作員跟蹤和分析生成的塗層厚度、均勻性和其他參數。此外，ULVAC MCH-9000還配備了一系列安全系統，包括超壓關閉開關、低級報警器和自動氣體關閉閥。總體而言，MCH-9000是一個先進的模型，旨在提供精確、高質量的濺射效果。其集成的工藝控制、診斷能力、氣體循環系統和安全系統使其非常適合任何需要嚴格薄膜塗層沈積的研究或生產環境。