二手 ULVAC MLX-3000 #293740221 待售
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ULVAC MLX-3000是為高端半導體生產工藝設計的濺射設備。該系統提供高性能、可靠的濺射,並將成本降至最低。它采用中頻磁控管,提供比傳統濺射系統更低的功率和更高的工作效率。MLX-3000的沈積速率最高,能夠濺射各種材料,包括鋁、銅、金、鎳、鈷和鈦。該單元還能夠執行晶體定向控制,而無需附加部件,從而簡化了生產過程並有助於確保產品更加一致。與傳統的濺射系統相比,ULVAC MLX-3000具有幾個優點,包括更高的濺射沈積速率、降低底物與等離子體的相互作用以及優化特定塗層的濺射過程的能力。此外,它還配備了高精度角度控制機,可以為特定材料提供理想的塗層角度。為了進一步優化工藝,MLX-3000具有多種高級功能,包括氣體流量監視器、溫度控制器和塗層厚度監視器。ULVAC MLX-3000具有高精度電源設計,精度± 0.1%,是市場上最高效、最精確的濺射系統之一。此外,它還具有簡化的操作面板,允許用戶快速、輕松地設置和操作該工具。此外,它還改進了安全功能,包括緊急停車,在發生事故時立即關閉資產。MLX-3000專為大批量生產而設計,其真空室可用於多濺射,或多種其他工藝,如薄膜沈積和蝕刻。它與多種標準目標材料兼容,是實驗室和制造需求的絕佳選擇。最後,該型號具有全面的保修,有助於確保它能夠滿足任何生產環境的需求。
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