二手 ULVAC MLX-3000N #293796096 待售

ULVAC MLX-3000N濺射設備是一種高性能濺射沈積系統，設計用於薄膜的精密沈積。它是各種工業、科學和半導體相關應用的理想選擇。MLX-3000N利用大功率磁控管源技術在大面積基板上生產各種材料的高質量薄膜。該裝置設計為通過電子束輔助濺射技術提供非常低溫的沈積。ULVAC MLX-3000N具有多種先進功能，如超高真空室、先進的高效磁控管電源和遙控操作。超高真空室為保證高沈積速率創造了清潔的真空環境，而具有精確控制的高效磁控管電源即使在小基板上也能實現卓越的薄膜均勻性。此外，遙控操作允許高效和方便的濺射沈積。MLX-3000N的超大尺寸腔室允許廣泛的應用，包括銅、鋁、鎢、矽、鉻等金屬和復雜材料。可用於石英基板上的大面積濺射，以及藍寶石和玻璃基板上的小面積沈積。該機還能夠進行包括ITO層和SiO2層在內的多層處理。ULVAC MLX-3000N提供卓越的過程控制和膠片的均勻性,這在很大程度上歸功於全自動工具。使用集成的過程控制軟件（PCS）,資產可確保卓越的過程控制,並在很長一段時間內保持準確性。PCS還支持更復雜的過程,如梯度和離軸濺射。MLX-3000N是在任何材料上沈積高質量薄膜的一種成本效益高的解決方案。這種濺射模式耐用、可靠、節能，是廣泛應用的理想選擇。