二手 ULVAC MLX-3000N #9156850 待售

ULVAC MLX-3000N是一種高性能的濺射設備,能夠生產用於多種不同用途的高質量薄膜。系統采用多室結構，主室為六角形，側室為側室，底室為最大彈性。它提供了多種濺射源，如圓形和矩形陰極、雙磁控管源和不平衡磁控管源。它采用了高級功能,例如板載ICRF高級電源、多個等離子體監控選項和閉環過程控制。MLX-3000N是一個完全可編程的單元，具有可調的沈積速率、離子轟擊強度和寬度控制，允許精確的壓力控制和優越的膜質量。該機還包括用於實時過程監測和控制的光發射光譜儀。ULVAC MLX-3000N能夠生產各種薄膜，包括金屬、電介質、氧化物和氮化物。該工具旨在處理低壓和高壓反應性濺射過程，允許廣泛的應用。它還與ULVAC EXA900系列PVD沈積系統完全兼容，從而能夠將過程快速轉移到資產中。集成退火站可以沈積非常薄的金屬膜，而冷卻組件有助於保持膜的均勻性。最後,MLX-3000N使用了多種軟件包,允許用戶從單個界面控制整個模型。該軟件與ULVAC ICRF電源完全兼容，利用GLASS程序加快了復雜過程的開發和調試時間。ULVAC Sputter Process Monitor（SPM）軟件還為用戶提供了對整個沈積過程的完全控制，以最大限度地提高過程可靠性。總之,ULVAC MLX-3000N是一種高性能濺射設備,它具有多種特性和功能,可滿足各種應用程序所需的要求。該系統的多室結構、先進的板載特性、可編程性和軟件兼容性使其成為高精度薄膜沈積的理想選擇。