二手 ULVAC MLX-3000N #9236603 待售
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ID: 9236603
優質的: 2000
Sputtering system
Si wafer
Process gases: Argon, O2, Ni, Ta, Cr, Cu
Target: Cu
O2 Chamber S3 exists
Power on only (No wafer transfer confirmed)
C6 Turbo (TMP-303LM) nonfunctional
Missing parts:
Display
Front panel
2000 vintage.
ULVAC MLX-3000N是由先進薄膜沈積技術解決方案的領先供應商ULVAC開發和制造的濺射設備。該濺射系統設計用於精密薄膜沈積工藝.該單元配有多個濺射源(最多4個目標),用於金屬、半導體和電介質的同時沈積。它有一個閉合的磁場等離子體濺射室,有一個孔徑圓柱形目標和一個旋轉快門,提供面積均勻性。這樣就可以在整個基板表面沈積薄膜,而不會因有效面積而造成陰影。該產品具有多區域濺射構型,能夠在大型基板上同時沈積多層。高效的光譜掃描控制機可以精確地沈積精細圖案。它還具有內置的光發射光譜功能,提供對工藝參數的實時監控。大容量真空抽水工具可確保過程中低頻振動和均勻的質量分布。由於采用了自動化的過程控制模型,該資產能夠以均勻的方式進行高速率沈積,而不會改變基板。MLX-3000N是一種工業級濺射設備,其設計符合塗層沈積工藝效率和均勻性的最高標準。它具有多種可選功能,包括鉻酸鹽金屬化器,可提供卓越的金屬塗層。該系統適用於汽車、航天、軍事、醫療、消費應用等PVD應用。ULVAC MLX-3000N是一種經濟實惠且易於操作的濺射裝置,非常適合工業應用中最先進的薄膜沈積。它提供可靠、精確、均勻的塗層溶液,效果優異,產量高。
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