二手 ULVAC MLX-3000N #9266533 待售

ULVAC MLX-3000N是一種用於半導體器件制造的高性能濺射設備。這個系統由一個電源、一個射頻發電機、一個工藝室、一個基板級以及各種附加組件組成。射頻發電機提供高達3,000瓦的功率,能夠提供雙向、脈沖直流和脈沖偏置電源。射頻發生器還具有用於改進過程控制的大功率脈沖偏置模式。該工藝室是一種二維平面排氣單元，可實現快速減速。加工室可以加工尺寸不超過200毫米的晶片。它支持幾種濺射過程，包括膜沈積、預清潔、後濺射和多目標濺射。這個多面腔室配備了獨特的離子泵機，以實現高處理速度和均勻性。基板級旨在提供恒定、可靠的基板,以滿足雄心勃勃的應用要求。這個階段有一個集成的主動穩定工具，以確保精確的晶圓定位。它還具有一個自動晶片裝載機，用於快速基板裝卸。此外,MLX-3000N還可以配備其他組件,以提高流程靈活性。一個底物加熱器和朝日UNAX原子氧發生器可以集成到腔室中，用於更高級的氧化和退火應用。還可以添加一個原位極化探針，以改進過程監測。總之,ULVAC MLX-3000N是一種先進的濺射資產,可提供高功率、精確的處理和過程靈活性。其精密電源、工藝室和基板級允許在半導體制造中有廣泛的應用。從氧化和退火到過程監控,額外的組件可以實現更多的過程應用。