二手 ULVAC MLX-3000N #9280607 待售

ULVAC MLX-3000N是一種特征堆積磁控管濺射設備，設計用於在各種基板上精確的層沈積和材料生長。該系統可用於許多應用，如薄膜沈積、閘級器件結構、介電層等。其堅固的設計允許濺射精確和均勻的薄膜厚度。MLX-3000N配備13.56 MHz單磁控管真空唯一濺射工具，能夠產生較高的沈積速率和均勻的濺射沈積。該機組配備了ULVAC先進濺射電源，集成主從電源機，允許對濺射層的特性進行精細控制。開放式體系結構設計可實現與大多數腔室組件的兼容性,從而使該工具具有高度的通用性。該資產旨在以高度的靈活性和可配置性最大程度地減少氣體泄漏。它有一個四環腔室TM指示四個不銹鋼密封圈結構。密封件減少氣體泄漏，配置性強，易於更換，維護方便。ULVAC MLX-3000N利用真空數字接口單元（VDIU）進行控制和監測,符合所有工業安全標準。大型樣品鎖載室水平定向，利用獨特的半導體樣品級進行樣品處理和轉移。它的四級樣品冷卻器允許樣品和基板冷卻到室溫以下。該模型的高級軟件套件使用戶能夠快速設置高精度預測濺射過程。MLX-3000N在超高壓和低真空（LV）模式下運行,允許在工藝條件下進行非常高的控制,並支持具有高長寬比的復雜基板。其集成的等離子體發生器是溫度控制的，使沒有氮氣的快速初創企業能夠進行整修。所有這些特性都允許在廣泛的應用中進行可靠的濺射沈積。總體而言,ULVAC MLX-3000N是一種可靠的濺射設備,非常適合精確的層沈積.該系統配置性強,易於使用,可提供可靠的濺射引腳精度。它是從薄膜沈積到柵級器件結構等各種應用的理想工具。