二手 ULVAC MPS-2000 #9156854 待售

ULVAC MPS-2000濺射設備，由ULVAC Japan制造，是一種用於薄膜生產的通用工具。MPS-2000具有三個獨立的濺射源，允許多層沈積和精確的厚度控制。真空泵提供5 x 10-6 Pa的穩定基底真空和3 x 10-3 Pa的最大壓力，允許以快速抽水時間一致的薄膜應用。ULVAC MPS-2000具有50 x 50厘米的陰極室,尺寸為300 x 150 x 200厘米,全為不銹鋼結構。其溫度範圍為100˚C至325 ˚C，系統可以朝向任何方向。它與標準和反應性濺射兼容，可以使用其內置控制單元實現自動化。此外,MPS-2000還具有用於溫度和壓力的觸摸屏控制器,以及監控和診斷功能。ULVAC MPS-2000是高質量薄膜濺射沈積的可靠選擇。其獨立的來源和多層沈積能力使得它在許多應用中非常有用。MPS-2000沈積的薄膜以其均勻性和優越的附著力以及提高沈積速率和降低薄膜均勻性的能力而著稱。自動控制功能確保了操作員的最少輸入，這有助於減少總體生產時間。ULVAC MPS-2000還配備了氣體劑量能力，可用於確保所沈積成分的適當反應速率。總體而言，MPS-2000是一個功能強大、用途廣泛的薄膜應用濺射機。其強大的設計和先進的特性使其成為許多生產過程的可靠選擇。內置的控制工具減少了操作員的輸入，從而實現了快速、輕松的操作。而它的多層能力和優越的均勻性保證了一致的結果。