二手 ULVAC MPS-4000-C4 #9279708 待售

ULVAC MPS-4000-C4是一種四室大面積磁控管濺射設備.該系統由四個用液氮冷卻的SDC-S250工藝室組成。這些腔室都節省了空間,並且具有小於28英寸的基板到磁控管（STM）距離。這樣就能夠有效地利用高功率沈積，並利用短時間沈積時間而不犧牲大面積均勻性。每個腔室的雙源配置允許各種目標材料用於不同的結構配置。腔室配有低熱擴散反射器，用於更高的沈積速率，不銹鋼目標的低溫沈積，以及大型取景器單元。該系統允許均勻、均勻的濺射，電離速率高，等離子體條件穩定，沈積速率均勻。該機還配備了多陽極電源和主控硬件。MPS-4000-C4提供了ULVAC的全自動工藝配方,可以在用戶友好的控制軟件上配置和優化沈積配方。此工具還具有內置的自動目標交換器,允許在一個資產中使用多個目標應用程序。該模型適用於直徑可達600mm的超大樣本量,可沈積金屬、氧化物和氮化物等多種材料的較厚薄膜。這種設備的主要優點是能夠在較低的溫度範圍內沈積高質量和均勻性的薄膜。低溫濺射工藝有助於降低工藝成本，最大限度地減少汙染。該系統還有一個自我調節模式和傳感器，用於監測室內的大氣，以減少汙染。ULVAC MPS-4000-C4單元非常適合生產大型高質量的光學和電子塗層玻璃基板，非常適合從平板顯示器到太陽能電池產品的廣泛應用。該機器非常適合研發、全行業生產和專用塗層應用。