二手 ULVAC MPS-5000-HC6 #9156847 待售

ULVAC MPS-5000-HC6是為高質量薄膜沈積應用而設計的最先進的濺射設備。該系統由8英寸單電池磁增強平面濺射源、8英寸基板支架、高真空室、光發射光譜儀（OES）模塊和專用軟件組成。濺射源具有超低電壓、低EMI電子槍，以及多磁控管、高容量目標設計，以提高濺射均勻性和穩定性。基板持有者由微量定位器控制，具有中和靜電荷的專利方法，確保了精確的基板定位和塗層均勻性。MPS-5000-HC6室配有用於引入反應性氣體的氣體噴射裝置，以及帶有兩個移動葉片和兩個固定屏蔽裝置的排氣裝置，以保護室內免受汙染。OES模塊集成在腔室中，允許在濺射沈積過程中進行實時監控和自動控制參數。專用軟件通過各種配方和參數調整簡化和自動化濺射操作，並設有全自動的樣品裝卸機。此外，它還允許儲存濺射配方和檢查密室狀態。ULVAC MPS-5000-HC6對於那些尋求可靠和高效的濺射工具來沈積高質量薄膜的人來說是一個有吸引力的選擇。