二手 ULVAC MPS-6000-C1S300 #9313940 待售

ULVAC MPS-6000-C1S300是一種功能強大但操作簡單的反應性等離子體濺射設備。該系統旨在在半導體晶圓上制造金屬、介電和其他材料的薄膜。該單元由三個主要組成部分組成：一個疏散室、一個教育室和一個濺射室。疏散室用於從濺射室周圍疏散空氣和其他汙染物。這是通過采用多級渦輪分子阻力泵來實現的，該泵用高速旋轉葉片將空氣吸出腔室，提高腔室清潔度。教育室負責將少量的反應性氣體引入濺射室。這是通過使用高溫電阻加熱機實現的，該機用於高速蒸發反應性氣體。最後，濺射室由機載磁控管濺射單元控制。這個濺射單元在目標材料和陰極產生的等離子體電弧之間產生電弧。這會產生一個受控的等離子體，隨後用目標材料的薄膜覆蓋晶片。該工具能夠在各種形狀和尺寸的基板上制作包含金屬、電介質、陶瓷和聚合物等不同材料的薄膜。此外，資產還具有若幹安全特征，例如泄漏檢測模型，該模型將檢測和阻止任何氣體泄漏，以保護操作員免受有害氣體的侵害。總體而言，MPS-6000-C1S300是在各種形狀和大小的基板上制作各種材料薄膜的理想工具。該設備獨特的設計和安全特性使其成為任何薄膜應用的理想選擇。