二手 ULVAC PME-200 #9070529 待售

ULVAC PME-200濺射設備是為各種薄膜應用而設計的高度通用的高級濺射系統。該裝置采用模塊化多構型框架設計，可容納多個PVD過程，包括熱濺射和反應式濺射。機器帶有兩個濺射室，每個室最多配備兩個磁控管濺射陰極。每個濺射室可以容納多達四個基板，每個基板都在一個獨立驅動的基板支架上。該工具靈活的設計使用戶能夠快速輕松地更改基材類型、目標成分和濺射參數，以最好地滿足應用程序的需求。PME-200由高頻脈沖調制電源供電,可產生重復頻率高達3 kHz的高頻脈沖。PACMAN自動控制器旨在通過自動設置濺射參數和基板溫度的最優值來最大程度地減少操作員的幹預。這允許在每種基板上均勻、可重復的沈積。彈簧加載的淋浴罩設計通過屏蔽整個基板區域，使其免受濺射產生的帶電粒子的影響，從而提供了更好的沈積均勻性。磁感器設計允許目標材料的高密度沈積，最多可有五條稀有氣體管線連接到資產，用於反應性濺射過程。ULVAC PME-200還具有一個堅固的冷卻環路，它既提供溫度控制，又提供對腔室的顆粒提取，有助於保持清潔的加工環境。最後,PME-200帶有直觀的人機界面,用戶可以輕松配置濺射過程、存儲設置配置,並提供完整的模型控制和監控。該設備還包括若幹安全功能，如具有互鎖激活功能的門禁系統、溫度監測，以及在發生任何異常情況時自動關閉。所有這些功能結合在一起,使ULVAC PME-200成為一種功能強大、靈活且可靠的工具,可用於各種薄膜應用。