二手 ULVAC PME-200 #9218797 待售

ULVAC PME-200是一種通用的濺射設備,用於將薄膜沈積到各種基板上。該系統因沈積合金、金屬、絕緣體等厚度和均勻性受控等多種材料而在研究實驗室中流行。PME-200由一個由三層真空密封設備外殼和驅動機構覆蓋的主室組成。該主腔室配有三個濺射源，可以配置在平行磁控管或交叉磁場源中。它還有一個源支撐結構和一個匹配的陰極組件，作為濺射源和基板支架之間的連接。基板支架負責在沈積過程中支撐基板，可配置為扁平或圓柱形基板。它由一個固定框架、加熱器和一個聚焦環組成。加熱器用於調節基板溫度，焦點環為沈積源提供一個可調節的區域。ULVAC PME-200的控制器包括帶液晶顯示屏的觸摸面板、後備內存、編程選項和源代碼控制。該源控制器可處理多達五個具有多種濺射氣體的沈積源。這個單元有一個精密的熱控機，帶有一個PID反饋回路，允許精確的溫度穩定性和均勻性。溫度控制可以使用焦環控制，並可以選擇氙氣、氮氣、氦氣和其他氣體。PME-200配有排氣管理工具，確保顆粒安全清除。該資產有一個排氣口，可有效通風。它還配備了真空壓力傳感器，以便能夠精確測量沈積過程壓力。ULVAC PME-200是一種多功能沈積模型，具有多個濺射源和先進的熱控制設備。該系統允許在平面和圓柱形基板上沈積各種厚度和均勻性受控的材料。先進的熱控制和排氣管理單元確保了一個安全和高效的過程與各種各樣的氣體。