二手 ULVAC SBH-2306-DE #9055122 待售

ULVAC SBH-2306-DE濺射設備是一種高性能工具,旨在在多種應用中創建高精度薄膜材料層。這個最先進的系統利用物理氣相沈積（PVD）技術，這是一種真空級沈積技術，其中使用濺射源轟擊目標表面，並將目標材料的原子或分子轉移到基板上。SBH-2306-DE具有獨立的旋轉濺射室，可產生高均勻性和精確度的薄膜，以及用於同時濺射具有不同成分的目標的雙磁源。它可以在基壓降至1e-5 Pa的大真空室中處理多達兩個基板或靶子，以及來自軟金屬、合金、矽化物和氧化物的多層薄膜。基板尺寸可容納4英寸至8英寸的基板，最大基板尺寸為300毫米。該單元配備了多功能光學監測機，有助於處理前後的測量，以及用於缺陷分析的遠程診斷工具。其直觀的軟件能夠輕松輸入數據，為用戶提供所有必要的信息，以產生良好的效果。此外,ULVAC SBH-2306-DE能夠以優異的可重復性執行高級流程,為要求最苛刻的應用程序提供最高的效率和生產力。該資產的設計包括水冷卻和空氣冷卻，以便在處理大型基板時更好地控制熱量。SBH-2306-DE設計時考慮到安全和用戶的便利,具有自動沈積厚度控制、避免氣體泄漏和針對所需應用程序優化操作設置等功能。這種強大的濺射模型以其無與倫比的多功能性和性能，是汽車、醫療電子、太陽能電池和微電子等行業研究和生產過程的寶貴資產。