二手 ULVAC SBH-2306 #9107295 待售

ULVAC SBH-2306是一種濺射設備，用於各種應用，例如將材料薄膜沈積到基板上。它具有提供密封環境的圓頂狀真空室，並采用氣體註入系統進行最佳溫度控制。腔內為多目標濺射炮，配有四個射頻濺射陰極，用於不同的塗層配置。它具有控制濺射持續時間的可編程脈沖/計時器和控制等離子體密度的偏置電壓源。SBH-2306薄膜塗層的沈積速度在0.1至10 nm/min之間。它還具有小巧易用的控制器，可支持目標角、腔室壓力、氣體流量和濺射電壓等多達十個濺射參數。這種濺射裝置能夠促進反應性離子濺射、氧化和無氧化塗層過程。它有一個原位壓力監測室和一個高壓氣體噴射機，以更好的過程控制和提高重復性。ULVAC SBH-2306還配備了用於高真空操作的渦輪分子泵，這是低應力濺射塗層所必需的。此外,它還具有一個氮氣凈化端口,以加速泵的停機時間.該室還設有兩個用於材料介紹的端口，一個用於鋁制目標，一個用於反應性氣體，以及一個用於實時控制整個濺射過程的視口。為了保證最佳性能，ULVAC濺射系統擁有具有多個精確濺射參數的高端微處理器控制器，以提供最佳的過程控制。有安全功能,例如,在檢測到不安全的過程條件時,可以發出聲音和視覺警報,提醒操作員。該工具還包括一個維護菜單，以便操作員能夠輕松地采取糾正措施。總體而言,SBH-2306是一種高度先進的濺射設備,可為各種不同的應用提供可靠、可重復和精確的薄膜塗層效果。它配備了許多功能以確保安全運行,並且能夠以最小的投資提供高質量的結果。