二手 ULVAC SBH-2306 #9156856 待售

ULVAC SBH-2306是一種用於將薄膜沈積到基板上的濺射設備。它非常適合創建具有優越均勻性的精細結構。該系統包括一個旋轉濺射槍、一個真空室和一個旋轉升降臺。濺射槍設計用於反應性和非反應性濺射。它利用三種火炮模式來適應各種濺射需求。這些包括功率調制、射頻（RF）調制和直流磁控管濺射。該槍配備了一系列目標，以覆蓋廣泛的要濺射的材料。真空室采用機械泵送，並配有旋轉葉片粗加工泵。它還有一個單獨的渦輪泵，用於高真空操作。排氣和排氣系統是內置的，以方便過程相關的操作。旋轉升降臺能夠使基板在濺射路徑內外旋轉，也用於節省基板空間。SBH-2306提供了許多附加功能,包括基板溫度控制、數字真空計、閉環過程監控以及自動輝光排放清潔和調節裝置。機器整體尺寸小，足跡長89英寸，寬30英寸。此工具提供卓越的性能和可重現的結果。適用於ITO塗層、SiO/SiN塗層和OLED的PECVD薄膜沈積以及金屬/絕緣體多層系統等薄膜應用。ULVAC SBH-2306提供了一個優秀的能力，創造優秀的功能，同時保持卓越的統一性。