二手 ULVAC SBH-5315 #9053711 待售

ULVAC SBH-5315濺射設備是一個綜合性的薄膜沈積平臺，用於廣泛的研究和工業應用。它能夠沈積包括金屬、半導體和絕緣體在內的各種材料的均勻、高質量的薄膜。它是專門為非常高的沈積速率而設計的，同時仍然保持著很高的可重復性和準確性。這些特性使得它非常適合各種濺射沈積過程，如陰極電弧蒸發（CAE）、平面磁控管濺射（PMS）和反應性濺射。該系統配有三目標DC/RF模塊化平臺，便於單層和多層薄膜的沈積。它利用ULVAC專有技術，常被稱為「岡恩效應」，產生均勻厚的層。這使得濺射過程能夠得到準確的控制，並達到較高的沈積速率。該單元還配有綜合硬件套件，包括傳感器、溫度監視器、計算機接口和控制機。這樣可以精確、自動地控制濺射參數以及沈積速率。此外，該工具的特點是具有四象限設計的真空室，可以容納多個目標和基板。一個強大的渦輪分子真空泵被用來疏散腔室，從而允許高效和低溫的材料沈積。SBH-5315還采用了一種溫度控制資產，可以防止不希望的除氣，並確保整個沈積過程中的溫度穩定。此外，該模型還具有若幹安全功能，例如自動關閉系統，如果由於系統故障或人為錯誤而使整個設備變得不安全，這些系統將使整個設備停機。該單元還具有高級數據記錄功能,使用戶能夠記錄沈積過程以及實時跟蹤和分析數據。總體而言，ULVAC SBH-5315是一種用途廣泛、用戶友好的濺射機，能夠提供可靠、高性能的薄膜沈積。它配備了廣泛的功能，便於精確的過程控制、溫度調節和過程監控。對於各種應用都需要優質薄膜材料的研究人員和工業用戶來說，是一個合適的選擇。