二手 ULVAC SCH-1000 #9314701 待售

ULVAC SCH-1000是一種緊湊、高度先進的濺射設備,專為各種研究和生產應用而設計。該系統可用於廣泛的濺射應用，包括玻璃、鋁、矽等材料的薄膜沈積。該機組配有兩級射頻電源，以提高薄膜層的均勻性和高速沈積。它還具有一個三維基板支架，以促進基板各部分的均勻性，一個用於超高真空環境的真空室，以及一個全自動的過程氣體控制機，用於對沈積過程的高級控制。該工具是用先進的光刻資產建造的，該資產將光束光刻和電子束光刻結合在一臺機器中。這允許精確制造尺寸高達幾百納米的高精度納米結構。該型號還具有高速多目標濺射頭,最多可安裝六個目標,從而為生產應用程序提供高生產率和可擴展性。該設備能夠進行單層或多層薄膜沈積，材料和基材種類選擇廣泛。SCH-1000具有精確的厚度測定系統,其精確度可達5埃,並通過其實時非接觸式光學厚度監視器提供便利。它還有一個內置的氣體壓力監測儀，有助於保持清潔的工藝條件以取得一致的結果。憑借其3D基板支架，它還能夠在整個基板上實現多層的均勻性。ULVAC SCH-1000的設計是通過快速對準、短周期和快速基板轉換來提高吞吐量。它易於使用的圖形用戶界面也使操作變得容易。這種可靠高效的濺射工具可用於將各種薄膜（從氧化物到金屬）沈積在包括柔性塑料在內的各種基板基板上。SCH-1000具有廣泛的應用範圍和可靠的性能,是滿足大多數研究和工業需求的理想濺射解決方案。