二手 ULVAC SCH-135 #293623029 待售

ULVAC SCH-135是由專門研究濺射沈積技術的公司ULVAC, Inc.制造的濺射設備。SCH-135是一種采用真空電弧技術的DC/RF增強PVD濺射塗層沈積系統。該單元具有獨立的直流和射頻偏置電源、可變功率輸出和三電極電弧控制。它有兩個濺射源，一個是8英寸，另一個是4英寸，用於更快、更高效的塗層。機器還有兩個可以單獨或同時用於沈積的目標。ULVAC SCH-135在各種材料的濺射方面提供卓越的性能，包括磁性材料、透明導電膜等。SCH-135的濺射寬度可達8英寸，允許較大的表面積一次濺射，濺射面積速度可達30 cm2/min，提高了塗層的均勻性。該工具能夠在10-5 Pa的高真空環境下運行，實現了更高的沈積速率和提高的性能。腔室壓力可以通過集成的VETM（真空增強技術模塊）特性進行控制，在操作過程中可以根據沈積材料、工藝溫度和所需塗層均勻性進行調節。h ULVAC SCH-135還具有多種附加功能,包括光學窗口、目標清潔和冷卻機制、射頻屏蔽電源以及集成的遠程監控資產。這使得該模型非常適合研發應用，也非常適合需要優質濺射塗層的各種工業應用。SCH-135提供可靠的高性能,並具有可重復的結果。它支持廣泛的材料和薄膜，其操作具有成本效益，即使對於小體積塗層應用也是如此。