二手 ULVAC SCH-135 #293623445 待售

ULVAC SCH-135是由ULVAC Technologies Inc設計制造的濺射設備。它提供了用於在基板上沈積薄膜或在半導體工業中清潔表面的膜濺射和等離子體清洗工藝。該系統利用高頻功率將目標材料濺射到基板上。它通過創造低壓環境，應用高真空，布置強磁場，引入氣體來實現這一目標。SCH-135濺射裝置有四個主要組成部分。第一個組件是主室，它包含一個不銹鋼腔室、用於連接其他組件的真空法蘭以及一個目標材料。第二個組分是由聚丙烯制成的底物支架，具有平整的對齊塊，最多可處理六種底物。第三個組件是射頻電源，它能夠提供高達5千瓦的射頻電源進行濺射。第四個組件是脈沖直流電源，也用於濺射。濺射的過程開始於在主室中產生高真空。這是通過將氣體引入腔室，並使用真空泵來方便反應來完成的。一旦達到所需的高真空，下一步就是在主室內布置強磁場。這是通過使用三軸磁場配置來實現的。磁場設定後，利用射頻電源在基板附近施加大電場。該場使氣體分子電離，這種氣體分子爆發並釋放出一種與目標物質轟擊和結合的離子物質。當這些顆粒落到基板上時，它們就變成了薄膜塗層。最後，濺射材料也用氧氣等離子體清洗。首先建立真空環境，然後利用脈沖直流電源產生氧等離子體。然後將等離子體噴灑到濺射膜和基板表面，以去除顆粒、碎屑、灰塵和殘留氣體，並改善附著力。總體而言，ULVAC SCH-135是一種高效濺射機，用於將薄膜塗層沈積在基板上或清潔表面。它利用多種元件制造高真空，布置強磁場，並為濺射過程應用必要的電源。隨著濺射過程，氧等離子體被用於清洗濺射膜和基板表面。