二手 ULVAC SCH-135 #9411089 待售
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單擊可縮放
ID: 9411089
Horizontal inline sputtering system
Electrode deposition 90 sec tact
Chamber:
Loading
Heating
Isolation
Unloading
Assembly:
Vacuum
Transfer
Internal jig
Heating
Sputtering cathode
Power supply
Frame and conveyor
System:
Pumping
Operation
Measurement
Gas inlet
Compressed air
Cooling water
Spare parts.
ULVAC SCH-135是為優化薄膜沈積而設計的高精度濺射設備。該系統非常適合在大面積上形成精確控制和均勻的薄金屬、氧化物和氮化物層。SCH-135是一種先進的單端磁控管濺射裝置，由高精度的基板定位器、精密的控制器和各種大小的磁濺射目標組成。ULVAC SCH-135允許沈積在比其他常規系統更高的壓力下進行，並已成為工業薄膜應用的領先工具。SCH-135提供一維單向濺射，可以在從高真空（1x10-7 Pa）到超高真空（1x10-9 Pa）等多種壓力下運行。來自陰極的電子向陽極加速，當它們撞擊目標時，它們會導致目標原子脫離，然後沈積在基板上。這種濺射工藝具有很高的可重復性和可靠性，對厚度、成分、形狀、反射率等薄膜性能提供了極好的控制。ULVAC SCH-135的控制器界面非常方便用戶,可方便地設置、控制和監控薄膜多層沈積過程。它有一個龐大的預先定義的用於濺射沈積過程的配方數據庫，可以方便地控制機器的程序。此外,創新的圖形用戶界面（GUI）使操作員能夠輕松可視化沈積過程,這使SCH-135與其他濺射系統脫穎而出。ULVAC SCH-135是工業和科學領域大面積薄膜沈積應用的首選工具。廣泛用於生產薄膜晶體管、光學塗層如AR塗層、介電鏡、儲能收集裝置以及薄膜封裝/鈍化層。而且，它具有高精度、均勻性的薄膜層生產能力，非常適合廣泛的科研應用，如薄膜材料的物理、化學、光學性質的研究。簡而言之，SCH-135濺射工具是一種先進的薄膜沈積資產，能夠將高精度、均勻的薄膜層沈積到大面積上，具有高度可重復、可靠的結果。它具有復雜的控制器界面和圖形用戶界面（GUI）,使薄膜沈積過程的設置、控制和監控極其方便用戶和高效。隨著ULVAC的SCH-135，薄膜在工業和科學領域的應用勢頭顯著，是薄膜沈積中應用最廣泛的濺射系統之一。
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