二手 ULVAC SDP-550 #9411768 待售

製造商
ULVAC
模型
SDP-550
ID: 9411768
Sputtering system Manual load port Pump.
ULVAC SDP-550是一種濺射設備,用於將薄層材料沈積到基板上。它結合了強大的DC/RF磁控管濺射室和高效的可轉動樣品支架。SDP-550提供了高度均勻性的沈積和可靠的樣品傳輸,而其自動濺射設置使材料的快速選擇和參數選擇成為可能。ULVAC SDP-550的濺射室可容納兩個或三個目標,這些目標安裝在可旋轉的存根或滑軌上。所有的腔室部件都是用不銹鋼制成的,腔室的設計是為了盡量減少沈積物料的堆積。蒸發室也可用於樣品專用蒸發。這可用於高純度金屬層和塗層材料的沈積。SDP-550提供了廣泛的沈積源。這些包括直流磁控管濺射、射頻磁控管濺射、電子束蒸發、多極直流磁控管濺射、定向直流磁控管濺射、反應性直流磁控管濺射、離子束濺射、懸浮目標濺射、激光感應沈積。所有沈積源均可輕松安裝和配置,以實現完整的樣品覆蓋。為了確保沈積在整個基板上的均勻性,ULVAC SDP-550可以配備一個特殊的樣品支架。它旨在最大程度地減少目標陰影,從而在整個樣品表面上實現均勻沈積。該系統還包括兩級卡盤,可提供出色的電氣連接和高樣品旋轉精度。SDP-550具有多種安全功能,例如安全真空互鎖、護蓋開孔器和壓力傳感器。還提供了一個自動化的樣品處理單元,使操作員能夠使用樣品盒,使他們能夠執行更高效的樣品成像和蝕刻。ULVAC SDP-550提供了多種沈積方法和高工程均勻性。這使得它非常適合將陶瓷、納米塗層、金屬和金屬合金等一系列材料沈積到任何類型的基材上。它的自動化特性和安全特性,以及在整個基板上提供均勻沈積的能力,使得它成為任何尋找可靠濺射機的人的絕佳選擇。
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