二手 ULVAC SDP-570 #9411766 待售
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ULVAC SDP-570是用於薄膜沈積應用的最先進的多功能濺射設備。它是一種直流（直流電）濺射系統，設計的占地面積小，非常適合小型應用。作為一個磁控管濺射裝置，它提供令人印象深刻的功率和高的沈積速率，最終導致高質量，均勻的薄膜。機器設計有一個完全封閉的腔室，允許改善發生濺射的環境。它有一個大的，易於調節的工藝面積，能夠處理各種材料。內置真空泵可提高穩定性和可重復性。該濺射機非常適合沈積回火蒸發（DTE）和物理氣相沈積（PVD）工藝。SDP-570濺射工具還具有高精度的機械設計元素。它的七軸測角儀允許用戶精確地控制和調整基板的角度、傾斜和旋轉，以確保一致的膜形成。其高精度的行星運動系統保證了過程中平滑準確的基板運動。此外,ULVAC SDP-570還為用戶提供了廣泛的流程參數。它配備了雙頻直流電源，給用戶100至10000瓦的功率調節能力。其控制器具有射頻和直流濺射兩種特點，以更好地控制沈積參數。它的3區溫度控制使用戶能夠保持剛性工藝溫度。SDP-570濺射資產還包括先進的安全功能。機器配有傳感器陣列，用於檢測過程中的任何變化，並向用戶提供即時警報。此外,它還具有緊急停止按鈕,允許操作員在需要時快速安全地結束該過程。總體而言,ULVAC SDP-570提供卓越的性能、一致性和準確性。其工藝參數範圍、先進的安全特性和直流/射頻濺射能力使其成為薄膜沈積應用的理想選擇。
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