二手 ULVAC SDP-651 #9379485 待售
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ID: 9379485
Sputtering system
(3) MITSUBISHI RH-L4B Robots
RF Generator
(12) SHIMADZU TMP1500 Turbo pumps
(11) ULVAC VS 2401 Dry pumps.
ULVAC SDP-651由ULVAC-PHI, Inc.制造,是一種高精度、經濟高效的濺射設備,專為大體積薄膜沈積而設計。此系統的占地面積很小,最大寬度為808mm,高度為875mm,深度為1150mm。它有一個9英寸的濺射目標，能夠沈積多達24個目標。該裝置由強大的直流電（DC）電源供電，能夠為薄膜的沈積提供高達350W的功率。它采用單架、開放式的洪水濺射炮，裝有單面或雙面目標。單面或雙面目標可以通過機械類型、電氣升降機或手動加載來加載。該工具能夠提供高達75mA/in2和20mTorr的產出。SDP-651配備了一個過程控制器,可監控過程條件,包括溫度、濺射壓力和電壓。通過紅外溫度傳感器、殘余氣體分析儀、壓力表、目標電流監視器和電壓電源監視器進行監測。它可以配置為手動或自動操作，允許18種不同的語言選項。資產利用先進的、延長的工作距離敏感性來提供高均勻性和均勻沈積。它還提供各種基材材料和尺寸，無需新的目標設置即可更改。延長工作距離的目的是盡量減少底物對沈積結果的影響。ULVAC SDP-651專為提供最高質量的薄膜沈積結果而設計。該模型具有高效、均勻的沈積、均勻的厚度、高純度、低熱變化特征，是有機和無機材料應用中沈積薄膜的理想選擇。
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