二手 ULVAC SDP-850 #9379484 待售
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ID: 9379484
Sputtering system
(3) MITSUBISHI RH-L4B Robots
(7) ULVAC TMP3003LM Turbo pumps
(14) ULVAC Dry pumps
(9) ITO Target chambers.
ULVAC SDP-850是一種用於高精度薄膜沈積應用的濺射沈積設備.該系統將ULVAC現有的磁控管濺射技術與新集成的PI技術相結合，生產出均勻、均勻、精度高的薄膜。其領先的濺射源為極為廣泛的材料提供了卓越的等離子體控制。這有助於確保即使在不同的流速和材料上也能以高精度進行一致和可靠的薄膜沈積。該單元通過觸摸屏PLC進行管理和操作，為用戶提供一個易於使用的界面，用於控制各種機器功能。SDP-850還在室內保持恒定的真空環境，從而提高真空沈積效率並有助於減少汙染。該工具的另一個特點是采用了陶瓷封閉式船陰極，由於其密封狀態，便於操作和維護。安全是ULVAC SDP-850設計中的一個重要因素，因為它是用接地連接器和各種電離器和磁屏蔽固定的，以有效保護人員和設備免受任何等離子體沖擊。其雙重氣體控制資產提供了更高的安全性，允許同時控制低壓和高壓流動，同時仍然提供統一的氣體分配。SDP-850以能夠在最大樣本量為300 mm、最大厚度為1000nm的大面積基板上進行薄膜沈積而聞名。其較大的工作區域還允許在單個過程中在同一基板上沈積多層。總體而言，ULVAC SDP-850是一種創新的濺射沈積模型，提供高精度、均勻性和安全性，以及廣泛的材料和工藝尺寸。其用戶友好的界面增強了其可操作性和簡單性，而其先進的控制和安全系統則以最小的操作員幹預確保了可靠的結果。
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