二手 ULVAC SH-350 #9145272 待售

製造商
ULVAC
模型
SH-350
ID: 9145272
優質的: 1988
Sputtering system Chamber Φ 500 × 250 hmm Magnetron Φ 4 "× 3 groups with reverse sputtering RF 1000W Vacuum gauge with substrate rotation and heating DP 6 "RP 618L / min AC200V 3Fai 2KVA air pressure: 6kg / cm2G Cooling water: 2kg / cm2G 1988 vintage.
ULVAC SH-350是一種為工業用途而設計的堅固、高質量的濺射設備。這種濺射系統具有緊湊的設計,使其能夠輕松地集成到多種工業生產線中。它利用了一個強大的射頻源,可以為350W供電,使其成為市場上其他濺射系統中功率最高的系統之一。SH-350設計有三個主要組件-源、腔室和真空泵。源是一個快速、強大和可靠的模塊,能夠產生高速率濺射。該單元的腔室設計方便,便於快速和方便的維護和彩色塗層。它還采用遠光角設計,保證了均勻高效的濺射過程。ULVAC SH-350還擁有先進的真空機,包括渦輪分子泵和冷凍泵的組合。這種組合保證了5 x 10^-7 Pa的低極限真空和高沈積速率。此外,此工具可提供高達100˚C的溫度控制,並可通過其高級溫度控制資產進行編程以達到特定溫度。此外,SH-350還采用了先進的過濾技術,並采用封閉式抽水模型消除了泄漏和汙染,適合在高真空環境中使用。此外,它還配備了一個自動壓力控制設備,允許精確的壓力控制,以及在濺射操作過程中的連續調節。總體而言,ULVAC SH-350是一個強大而可靠的濺射系統,非常適合工業生產過程。其先進的設計和內置的特點使這個單元能夠提供高濺射速率和均勻塗層。
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