二手 ULVAC SH-350EL-C06 #9078346 待售

ULVAC SH-350EL-C06是ULVAC Inc設計制造的濺射設備。它是一個多室系統，可用於在基板上單步沈積薄膜。適用於工業規模批處理，支持反應性濺射、直流反應性磁控管濺射、反應性離子蝕刻、離子束沈積等一系列工藝。SH-350EL-C06包括一個帶手動轉移單元的疏散主室、一個加工室、一個基板固定器/冷卻器和一個裝載儲物櫃。主腔室有腔室壓力表、水冷面板，以及各種端口，如負載鎖定端口和節氣門，允許各種連接的工藝腔室。該工藝室根據所沈積的材料最多配備四個目標，一個連接到腔室底部的真空泵，一個石英淋浴頭襯在腔室的屋頂，以確保均勻沈積。腔室可以使用直流電源或射頻電源操作。基板支架/冷卻器的設計最多可容納兩個基板，其規格是可調的。支架可容納700 x 700 mm的基板，並配有溫度傳感器，用於監測和維持10至40攝氏度的基板溫度。此外，基板支架有一個旋轉圓盤底座，並配有一個非接觸感受器和一個平面內的「傾斜旋轉」機構，如果沈積過程中需要傾斜角度或旋轉角度。最後,負載儲物櫃設計有一個可打開的前閘門,使基板能夠在不中斷過程的情況下加載和卸下。它配有石英或氧化鋁襯裏，以確保基板的平滑度不變。此外，鎖室能夠同時容納多達四個載荷，通過石英密封提供無氧環境，以防止氧化或與殘留的大氣氣體反應。綜上所述，ULVAC SH-350EL-C06多室濺射裝置非常適合工業規模的分批處理，並提供了一系列的選擇，允許各種沈積過程。由於其直觀的設計和特點而易於使用，由於其封閉的機器而高效。對於需要可靠、堅固的濺射工具的人來說，這是薄膜沈積的絕佳選擇。