二手 ULVAC SH-450-T10 #9156843 待售

ULVAC SH-450-T10是一種用於在半導體器件制造中沈積薄膜材料的高功率直流磁控管濺射設備。它具有單個主軸和RF偏置基板電源。SH-450-T10設計緊湊,易於安裝和使用。該系統采用高功率射頻磁控管，可為薄膜沈積提供高達450 W的直流功率。射頻磁控管濺射源是可調的，有兩種獨立的工作模式：線性模式和全爆破模式。在線性操作模式下，ULVAC SH-450-T10可以在較低的優化功率水平下工作，以實現均勻的薄膜厚度和可重復的性能。在全爆破模式下，該裝置可實現較大面積沈積的較高沈積速率。該機還配備了脈沖模式電弧抑制工具，減少了與高功率操作相關的電弧以及增強的基板冷卻資產。SH-450-T10具有射頻偏差源,可降低濺射速率並改善膠片附著力。射頻偏置功率具有高達400瓦的獨立控制，在濺射過程中對離子通量提供極好的控制。此外，射頻功率調制可用於最大程度地提高整個目標的沈積均勻性。該模型包括一個安全的數據管理設備，能夠存儲傳入晶片的所有數據，包括沈積速率、厚度和周期時間。此數據是安全存儲的,允許授權人員訪問和調整各個晶片的設置。該系統還包括一個完全自動化的中央控制單元，配有預定義的配方。ULVAC SH-450-T10磁控管濺射機是一種具有優異薄膜沈積特性的大功率直流濺射工具。可調節的射頻磁控管、射頻偏置源和自動化的中央控制資產提供了極好的精度和重復性，而數據管理模型則允許安全的數據存儲和檢索。該設備具有優異的性能和可重復性,可用於大批量生產。