二手 ULVAC SH 450 #9133526 待售

ULVAC SH 450是由日本沈積系統制造商ULVAC Technologies設計的精密濺射設備。SH 450能夠提供一系列沈積大氣，如超高真空（UHV）、高真空（HV）和低壓（LP）環境。它為金屬、電介質和有機質等多種材料提供了高效的沈積工藝。ULVAC SH 450是一種直流濺射沈積系統，利用陰極濺射在基板上逐步堆積材料層。簡而言之，該單元使用陰極靶以離子轟擊底物，激發靶材並使其汽化。離子化的汽化目標粒子然後凝結在基板表面上，形成一層薄而均勻的層。SH 450配備了兩個源，每個源都能濺射高達3.6 kW的功率。此外，它能夠進行多源操作，允許同時使用多達四個源進行濺射。再者，該機包括一個獨立的氣體註入工具，可以引入氧氣、氮氣或氙氣等反應性氣體來改善材料性能。該資產提供了一個靈活的基板加熱平臺，最高溫度可達400°C。它還帶有一個特別設計的安裝模型,允許順序、水平或垂直濺射。此外，ULVAC SH 450包括數據采集設備和用戶友好的圖形用戶界面，允許自動化過程控制。除了上述功能外，SH 450還有幾項集成的安全功能，確保安全可靠的運行。其中包括緊急停止功能、過壓保護器和背面支撐系統。所有這些特性使該裝置適合各種制造工藝，從小樣品到大規模生產。綜上所述，ULVAC SH 450是一種將高溫沈積過程、柔性基板加熱和可靠的安全功能結合在一起，完成沈積過程的濺射機。適用於多種材料和基材，非常適合小樣品制作和大規模生產。