二手 ULVAC SH-550 #9078338 待售

ULVAC SH-550是一種最先進的濺射設備,設計用於各種目標材料、基材和最終產品的卓越塗層性能。該系統配備了13.56MHz-RF和低頻直流濺射源，使其能夠將各種金屬薄膜沈積到廣泛的基板上。專有的Advanced Electrode Balance Unit （AEBS）有助於在大面積基板上保持均勻厚度,並能夠在較小的基板上精確、可重復地應用薄膜。SH-550適用於玻璃成像、密封、鈍化和裝飾膜等各種應用。它還具有用於優化等離子體密度水平的集成腔室氣體控制和用於精確控制濺射參數的WINDEX-V1控制器。具有多個目標的射頻源配備了快速更改源（QCS）以實現快速輕松的目標更改,並配備了可旋轉源支架以方便基板裝卸。機器帶有AUTO-SEAL功能，允許密封腔室和目標基板接口。AUTO-SEAL功能還可以避免汙染並確保提高塗層產量。該工具利用全自動真空資產快速疏散和精確控制濺射過程。ULVAC SH-550有一個低振動濺射沈積平臺，可以保證膜的均勻、高精度沈積以及低接觸電阻。該模型提供了可調屈服和壓力剖面指標，以優化過程，減少溫度漂移。該設備還具有防撞功能，以確保最大的濺射屈服和高精度性能。SH-550設計用於在400°C的溫度下進行可靠和高效的操作,它具有多種先進的安全功能,既能保護操作員,又能保護環境。它包括真空級別保護和帶有警報的壓力傳感器,可幫助監控過程條件並將任何不安全的操作條件通知操作員。此外,它還配備了集成的ESD保護設備,以幫助保護系統免受任何潛在的靜電或損壞。總體而言,ULVAC SH-550是一種高性能的濺射裝置,在廣泛的應用中提供卓越的塗層性能。該機提供精確的薄膜沈積和可重復的結果，其集成的安全特性保證了可靠和安全的操作。