二手 ULVAC SH-550 #9118829 待售

ULVAC SH-550是由國際工業和科學儀器制造商ULVAC, Inc.開發的用於薄膜沈積工藝的濺射設備。它以混合濺射離子源技術為基礎，結合直流和射頻功率，達到優越的濺射效果。該系統配置有兩個獨立的塗層源，它們可以獨立運行，也可以組合運行，提供高精度的薄膜沈積。SH-550是一個緊湊的設計，總足跡只有50 × 30厘米。它擁有各種濺射元件，如離子槍、磁控管、平面磁控管和直流磁控管。所有這些組件都是無接觸的,可以輕松移動到所需的位置。ULVAC SH-550還配備了長壽命電源和專用燃氣箱，有助於減少加工氣體的消耗。濺射過程在真空室中進行，上腔能夠達到高達5 Pa的真空水平，下腔可以達到10 Pa。基板支架是可調的，可容納200 × 200毫米大小的基板。該單元還具有加載/卸載機制，使其適合批量操作。機器帶有圖形化的用戶友好界面，允許操作員控制和監視工具。再者，包括光譜學、噪聲監測、熱成像等多種原位診斷都可以原位進行，以測量薄膜厚度、均勻性和性能。SH-550提供各種可選組件,可用於沈積鋁、黃銅、鈦、鉬和鎢等材料。適用於薄膜的研發、工業規模生產。此外，該資產適合於多種用途，因此非常適合各種沈積應用。總之，ULVAC SH-550是一種可靠、先進的用於研究和生產的濺射模型。它具有緊湊的設計、出色的工藝控制和大量的可選組件,是一種通用的工具,可用於各種沈積應用程序。