二手 ULVAC SIH-3030 #9067203 待售
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ID: 9067203
優質的: 2004
Sputtering system
Substrate: 370mm x 470mm
Heating: MAX250C
Pumping: Cryo and Mechanical Pump
Sputtering source: (3) 5 x 15 High Rate Magnetron Cathode
Power Supply: DC5KW RF3KW
Process Gus: Ar and O2
2004 vintage.
ULVAC SIH-3030是一種磁控管濺射設備,用於各種物理氣相沈積（PVD）技術.它在單一和多個目標過程中均具有優越的位置精度、出色的均勻性和更高的穩定性。SIH-3030濺射系統的多合一設計包括一個標準的載重鎖和一個完全集成到艙室的相鄰的樣船。大腔室提供了349毫米寬大的軸向長度和兩個可選的鉸鏈門，方便訪問。其可調閉環變頻渦輪分子泵送裝置保證了濺射室中最小底壓1.6x10-4 Pa。ULVAC SIH-3030能夠同時使用多達三個濺射源，並能夠長期維持陰極連續加載操作。SIH-3030濺射機具有廣泛的可調操作參數，以最大限度地提高沈積速率和均勻性。這些參數包括0-400攝氏度的溫度控制、可調的源到基板距離,以及能夠在固定直流電源或可選的交流基板偏置之間進行選擇,以改善粘性和表面紋理。該工具還包括一個可編程的靜電屏蔽，以優化離子轟擊水平，以更好的薄膜均勻性。為了加強基板處理，資產標配基板冷卻管線和可選的可調基板加熱管線，以改善材料的解吸。ULVAC SIH-3030的先進安全型號可用於監控腔室狀況，保護組件免受潛在電湧的影響。此外，該設備的觸摸屏控制器確保了簡單的操作和快速的生產時間。SIH-3030濺射系統非常適合用於半導體、航空航天、汽車和平板顯示器行業的薄膜研究和生產。其先進的特性和可靠的性能使其成為各種PVD應用程序的絕佳選擇。
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